Новгородские учёные улучшили микроэлектронику и сэкономили миллионы

Учёные Новгородского государственного университета им. Ярослава Мудрого разработали инновационное решение, позволяющее производить детали микро- и наноэлектроники без брака и значительных затрат. Новая технология помогает равномерно наносить тонкие слои материала на подложку, предотвращая дефекты, которые раньше приводили к потере продукции и перерасходу материалов.



Ключевым элементом стала заслонка с отверстиями особой формы для установки УВН 71-ПЗ. Дмитрий Корцов, участник проекта, пояснил принцип работы через аналогию с кулинарией: подложка — «кекс», материал для напыления — «сахарная пудра», заслонка — «трафарет», который делает покрытие равномерным. Такая простая, но эффективная идея позволяет контролировать толщину и распределение слоёв, снижая количество брака.

Обновление установки обошлось существенно дешевле приобретения нового оборудования. Стоимость нового составляла порядка 50 миллионов рублей, в то время как модификации, проведенные специалистами из Новгорода, потребовали около 15 миллионов. Еще одним достоинством данного подхода является то, что монтаж заслонки не предполагает демонтажа станка, что способствует сохранению целостности производственной цепочки и сокращению периодов простоя.

Реализация проекта стала возможной благодаря финансовой и организационной поддержке Минобрнауки, в рамках инициативы «Десятилетие науки и технологий». Специалисты подчёркивают, что их методика может быть применена на других предприятиях с аналогичными установками, повышая качество производства и снижая затраты. Благодаря этой разработке микро- и наноэлектронная промышленность региона получает инструмент для улучшения эффективности и надежности производства.

Читайте также: